微細加工技術は、半導体エレクトロニクスから生まれた技術ではありますが、現在ではMEMSや光デバイスさらにはバイオにまで活用されており、いわば先端の科学技術分野に必須の技術と言えます。それ故、基礎研究から産業応用まで誰もがアクセス可能な技術でなければなりません。
私共、文部科学省ナノテクノロジープラットフォーム事業・微細加工プラットフォーム(PF)は、インフラとしての研究開発を行う場を提供するとともに、高度な加工技術の提供も行っており、公開利用で年度あたり1300件を超える産官学の研究者・開発者に有効活用いただいております。
しかしながら、研究分野が異分野故に活用を逡巡されていたり、微細加工技術へのアクセス方法が不明であること等により、利用の機会を失っていた方々も多いかと存じます。本セミナーを通じて、微細加工技術の基礎及び概要を知っていただき、微細加工PFの共用施設を有効に活用いただくきっかけとしていただくことを狙いとします。研究・開発の加速、並びに課題解決の一助になることを願っております。
■開催予定
「微細加工技術 実践セミナー」は、全6回の微細加工プロセス技術セミナーと、実習コース（事前に紹介セミナーを開催）から構成されます。
セミナー（座学）は全てオンラインで開催します。
１．微細加工プロセス技術セミナー（オンライン）
以下の内容で1回／月程度の頻度で開催します。
・微細加工プロセスの基礎的なチュートリアルセミナー
・微細加工プラットフォーム各拠点の特徴的な技術を紹介するセミナー
参加は無料です。
２．微細加工技術 実習コース（事前紹介セミナー & 実習）
（8月中旬に実習プログラムを掲載する予定です）
2.1 実習事前紹介セミナー（オンライン）
事前紹介セミナーを受講することで、下記実習の申込みが出来ます。
日時：10月上旬
2.2 実習（全国各拠点にて実施）
（１）基礎的な微細加工プロセス実習（無料）、
（２）アドバンス実習（有料）
日程：11月以降 各実習ごとに設定されます。
（尚、実習の開催は、状況により内容等が変更される場合がありますのでご了承ください）
１．微細加工プロセス技術セミナー（オンライン）
第1回 微細加工プロセス技術セミナー
| 開催日時 | 2020年8月27日（木） 16:00～17:00 |
|---|---|
| 開催場所 | Zoomによるオンラインセミナー |
| 参加費 | 無料 |
| 参加申し込み |
下記URLより事前登録してください 開催前日にZoomセミナーの招待メールをお送りします。 URL：https://demo9.sg-files.com/wp/ku_nsn/p/seminar2020-1-1.html 申込期限：8/25(火) |
| プログラム | 16:00～16:10 １．「ナノテクノロジープラットフォーム事業・微細加工PFのご紹介」 微細加工PF 代表機関 16:10～16:35 ２．「ポイントビームによるEBリソグラフィ技術」 東京工業大学 宮本恭幸 多くの研究・開発の現場でナノスケールパターン作製する時にポイントビームEB描画装置を利用します。 このEB描画装置によるリソグラフィの基礎レベルの技術を解説いたします。 16:35～17:00 ３．「可変成形ビームおよびキャラクタープロジェクションを用いた電子線描画の基礎」 東京大学 肥後昭男 近年、大面積・超高速・高精細ナノ描画の要求が高まっております。 本セミナーでは、大面積を超高速かつ高精細に描画できる電子線描画リソグラフィ技術について 例を示しながらわかりやすく解説をいたします。 |
| お問合せ先 |
微細加工プラットフォーム・コーディネーター TEL: 075-753-5656 Email: nanofab-coordinators(at)t.kyoto-u.ac.jp ※(at)をアットマークに変更してからご使用ください |
（第2回 以降のセミナーはプログラムが決まり次第、募集案内を掲載いたします）
２．微細加工技術 実習コース（事前紹介セミナー & 実習）
8月中旬に実習プログラムを掲載する予定です